編者按

今年是全面振興新突破三年行動(dòng)決勝之年，大連高新區(qū)以“開(kāi)局即決戰(zhàn)、起步即沖刺”的姿態(tài)，投身“決勝新突破”，堅(jiān)持“打頭陣、勇?tīng)?zhēng)先”。繼一季度順利實(shí)現(xiàn)“開(kāi)門(mén)紅”以來(lái)，高新區(qū)錨定“雙過(guò)半”，干字當(dāng)頭、攻堅(jiān)克難，堅(jiān)定信心、精準(zhǔn)施策，始終保持奮進(jìn)勢(shì)頭。各領(lǐng)軍企業(yè)開(kāi)足馬力趕訂單、忙生產(chǎn)，園區(qū)處處展現(xiàn)蓬勃向上的活力。

大連華邦化學(xué)有限公司作為國(guó)內(nèi)氣體純化領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，致力于為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈提供裝備配套服務(wù)。當(dāng)前，企業(yè)在國(guó)內(nèi)外全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)袌?chǎng)覆蓋率超85%、占有率突破55%，實(shí)際產(chǎn)線運(yùn)行設(shè)備數(shù)量超2000臺(tái)/套。近日，記者走進(jìn)華邦化學(xué)，近距離探尋其技術(shù)突破與創(chuàng)新發(fā)展的新動(dòng)態(tài)。

走進(jìn)實(shí)驗(yàn)室，企業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)正緊盯著顯示屏上跳動(dòng)的數(shù)據(jù)曲線，專(zhuān)注分析最新的試驗(yàn)參數(shù)。目前企業(yè)正全力攻關(guān)新型純化器的研發(fā)，目標(biāo)是將適用氣體種類(lèi)從現(xiàn)有范圍擴(kuò)展至氨氣、二氧化碳、氯化氫等更多介質(zhì)，同時(shí)將純化精度提升至更高水平。

“企業(yè)研發(fā)總監(jiān)錢(qián)吉博士：隨著研發(fā)技術(shù)的不斷突破，將進(jìn)一步提升設(shè)備在復(fù)雜制造場(chǎng)景中的適配能力，為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化配套提供更優(yōu)解決方案。

華邦化學(xué)的核心業(yè)務(wù)是研發(fā)與制造高純度氣體純化設(shè)備，其生產(chǎn)的氣體純化器產(chǎn)氣純度高達(dá)99.9999999%（9N級(jí)），技術(shù)水平達(dá)國(guó)際一流。這些設(shè)備用于提純氮?dú)?、氫氣、氧氣等工業(yè)氣體，使其達(dá)到半導(dǎo)體生產(chǎn)所需極高的純凈度標(biāo)準(zhǔn)，純化后的電子氣體猶如“血液”，流動(dòng)在半導(dǎo)體制造的諸多關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)中，扮演著至關(guān)重要的角色。

要在氣體純化領(lǐng)域保持持續(xù)創(chuàng)新，有效滿足高精度、多場(chǎng)景的復(fù)雜需求，離不開(kāi)企業(yè)對(duì)研發(fā)的高度重視及持續(xù)投入。記者在采訪中獲悉，華邦化學(xué)今年進(jìn)一步加大研發(fā)投入，預(yù)算達(dá)5000萬(wàn)元，占銷(xiāo)售收入比例超過(guò)10%。這筆資金將重點(diǎn)用于研發(fā)新型純化設(shè)備，企業(yè)還將同步推進(jìn)配套小型化設(shè)備的研發(fā)，以適應(yīng)更多元化的應(yīng)用場(chǎng)景。與此同時(shí)，企業(yè)還將追加固定資產(chǎn)投資，重點(diǎn)用于對(duì)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行技術(shù)升級(jí)改造，采購(gòu)各類(lèi)分析儀器等，以提升研發(fā)效率和產(chǎn)品性能。

錢(qián)吉博士介紹說(shuō)，今年年初采購(gòu)的設(shè)備已陸續(xù)到位并投產(chǎn)使用，這些高精度分析儀器和智能化生產(chǎn)設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)多臺(tái)設(shè)備協(xié)同運(yùn)作，工程師們通過(guò)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，精準(zhǔn)調(diào)控各項(xiàng)參數(shù)，確保每一臺(tái)純化器的性能達(dá)到最優(yōu)，大幅提升了研發(fā)和生產(chǎn)效率。

去年，華邦化學(xué)年產(chǎn)值達(dá)5.1億元，各項(xiàng)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)增長(zhǎng)超30%，今年前兩個(gè)月各項(xiàng)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)同比增長(zhǎng)35%，發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁。其產(chǎn)品已部分替代進(jìn)口同類(lèi)產(chǎn)品，打破國(guó)外進(jìn)口氣體純化器對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)的長(zhǎng)期壟斷。憑借卓越性能與可靠性，企業(yè)已為中芯國(guó)際、京東方、英特爾、SK海力士等國(guó)內(nèi)外行業(yè)頭部企業(yè)供應(yīng)設(shè)備與服務(wù)。

華邦化學(xué)將繼續(xù)深耕氣體純化領(lǐng)域，以技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)核心競(jìng)爭(zhēng)力。今后還將不斷招攬人才，充實(shí)專(zhuān)業(yè)力量，持續(xù)優(yōu)化人才培養(yǎng)機(jī)制，強(qiáng)化技術(shù)細(xì)節(jié)攻關(guān)，提升產(chǎn)品精度和氣體適配能力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供更高水平的國(guó)產(chǎn)化裝備支撐。——總經(jīng)理助理劉皖南

來(lái)源:大連高新（微信號(hào)：daliangaoxin）