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佳能新光刻機(jī)工廠9月投產(chǎn)，主攻成熟制程及封裝應(yīng)用

佳能開設(shè)21年來(lái)首家光刻機(jī)設(shè)備工廠，9月開始運(yùn)營(yíng)

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消息稱佳能將于2023年上半年發(fā)售3D半導(dǎo)體光刻機(jī)，曝光面積是現(xiàn)在的4倍

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