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吳帆正樹:碳化硅溝槽刻蝕技術(shù)研究進展

視頻WBSC 20212025-12-23 15:31
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《碳化硅溝槽刻蝕技術(shù)研究進展》作者:吳帆正樹,張清純,馬宏平,張潔,侯欣藍,張園覽單位:復旦大學工程與應用技術(shù)研究院超越照明研究所
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