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中國科學(xué)院半導(dǎo)體所研究員趙德剛：平片藍(lán)寶石襯底上高質(zhì)量AlN材料MOCVD外延生長

視頻IFWS > IFWS20222025-12-24 15:11

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平片藍(lán)寶石襯底上高質(zhì)量AlN材料MOCVD外延生長High quality AlN growth on flat sapphire at relative low temperature by MOCVD趙德剛中國科學(xué)院半導(dǎo)體所研究員ZHAO DegangProfesor of Institute of Semiconductors, CAS

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