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《金屬氧化物/AlGaN/GaN基多異質(zhì)結(jié)深紫外光電探測器》作者：詹騰，孫劍文，伊?xí)匝啵顣x閩單位：中國科學(xué)半導(dǎo)體研究所、清華大學(xué)