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半導體用陶瓷靜電卡盤ESC、精密陶瓷真空吸盤、氮化鋁陶瓷發(fā)熱體

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 廣東精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研發(fā)及生產經驗,專注于半導體用陶瓷靜電卡盤ESC、精密陶瓷真空吸盤及氮化鋁陶瓷發(fā)熱體的研發(fā)制造。公司具備年產2000套12寸&8寸氧化鋁靜電卡盤,20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化鋁真空吸盤的生產能力,并設立有ESC專用測試設備、SEM、三坐標、輪廓儀等多種測試設備中心。
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