日前，荷蘭半導體設備制造商ASML通過公司官網宣布，完成了新產品，第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試，該設備能同時產生和控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使檢測系統的吞吐量提高600％。
盡管這一產品并非直接用來制造晶圓，而是一套檢測系統，但其對晶圓質量的檢測效率，也會對整體生產效率產生很大影響。尤其在5nm這樣先進工藝的情況下，顯得更為重要。
目前，首臺HMI eScan1000將于本周交付客戶檢驗。ASML還計劃繼續(xù)增加光束數量并提高精度，來滿足未來芯片制造商對于產品工藝的更高要求。
