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《非極性(11-20)面P型GaN和全組分InGaN的MOCVD生長(zhǎng)與研究》作者：趙見國，陳凱，胡文曉，宮毛高，劉斌，陶濤，謝自力，嚴(yán)羽，張

德國愛思強(qiáng)產(chǎn)品管理總監(jiān)Jens VOIGT介紹了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解決方案》主題報(bào)告。他介紹說，愛思強(qiáng)的行星式反應(yīng)器平臺(tái)是生產(chǎn)具有最高一致性、重復(fù)性和缺陷控制標(biāo)準(zhǔn)的化合物半導(dǎo)體器件的已建立的平臺(tái)，例如用VCSEL激光器證明的3D傳感器技術(shù)，這是當(dāng)前高容量需求的關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)因素之一。同樣的要求組合也適用于Micro-LED技術(shù)：在低的缺陷水平下，結(jié)合外延層的高通量結(jié)構(gòu)具有非常高的精度。行星式反應(yīng)器平臺(tái)技術(shù)已經(jīng)被

特阿卜杜拉國王科技大學(xué)的Kazuhiro OHKAWA教授介紹了《AlGaN 材料MOCVD生長(zhǎng)優(yōu)化和反應(yīng)器設(shè)計(jì)》研究報(bào)告。報(bào)告中，在較寬的壓力、Al /（Ga + Al）比例和溫度范圍內(nèi)成功仿真AlGaN生長(zhǎng)?？紤]到適量聚合物的形成，仿真中AlGaN的生長(zhǎng)速率和組分與實(shí)驗(yàn)中的非常一致。這一技術(shù)使我們有可能優(yōu)化氮化物MOCVD并設(shè)計(jì)升級(jí)反應(yīng)器。

美國維易科精密儀器有限公司市場(chǎng)營(yíng)銷總監(jiān)Mark MCKEE分享了《Micro-LED顯示屏：關(guān)鍵制造挑戰(zhàn)和MOCVD技術(shù)》報(bào)告。他介紹到，微型LED顯示屏比其他顯示技術(shù)，如背光LED顯示屏、OLED顯示屏和等離子顯示屏，具有更高的亮度、更高的功率效率，而且更加堅(jiān)固柔韌。然而，微型LED顯示屏的缺點(diǎn)之一是制作復(fù)雜，這導(dǎo)致了較高的顯示成本。在嚴(yán)格堅(jiān)持目標(biāo)成本的同時(shí)，微型LED顯示屏優(yōu)秀性能和良率為其制造帶來了許多挑戰(zhàn)。報(bào)告中提出，從外延和LE

　江蘇大學(xué)左然教授分享了《AlN MOCVD的氣相和表面反應(yīng)機(jī)理的量子化學(xué)計(jì)算》研究報(bào)告。他介紹到，課題組利用量子化學(xué)的密度泛函

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司副總裁MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平帶來了《氮化物深紫外LED生產(chǎn)型MOCVD機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)及外延生長(zhǎng)的挑

為了使基于AlGaN材料的深紫外LED能夠更廣泛地應(yīng)用于固化、水和空氣的凈化及醫(yī)療消毒等各方面，必須要大幅地降低其成本。提高深紫

瑞典查爾姆斯理工大學(xué)副教授Jie SUN帶來了關(guān)于GaN光電器件CVD石墨烯透明電極研究進(jìn)展，讓與會(huì)代表拍手稱贊！ 石墨烯傳統(tǒng)上是通過石墨機(jī)械剝落制備的，且大面積單層石墨烯的制備很有挑戰(zhàn)性。為此，化學(xué)氣相沉積（CVD）在過渡金屬上石墨烯最近被發(fā)展。自2009年以來，在Chalmers我們已經(jīng)在金屬箔（Cu，Pt，Ta等）上生長(zhǎng)了單層石墨烯，在硅襯底上蒸鍍了金屬薄膜.9-9 CH4或C2H2作為反應(yīng)物，石墨烯通過商業(yè)直冷式Aixtron系統(tǒng)生長(zhǎng)。通過濕化學(xué)法蝕刻銅或更環(huán)保的電化學(xué)氣泡分層，石墨烯可以轉(zhuǎn)移到

鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授單崇新介紹了高質(zhì)量金剛石的CVD生長(zhǎng)。金剛石是自然界產(chǎn)生的最堅(jiān)硬的一種材料，因?yàn)樗鼧O高的硬度，一直被當(dāng)做是打磨的工具，切割的工具等，在不同的方面都有應(yīng)用，日常生活以及工業(yè)生產(chǎn)中都能用到金剛石。除了高硬度以外，金剛石還有很多其他獨(dú)特的特點(diǎn)，很適合當(dāng)做半導(dǎo)體材料，比如非常高的帶隙、電壓、非常高的熱傳導(dǎo)性等，這些特點(diǎn)使得金剛石一直被認(rèn)為是重要的，也是非常有潛力的下一代半導(dǎo)體器件的原料。把金剛石材料轉(zhuǎn)變成金剛石器件還有很長(zhǎng)的路要走，也需要很多高品質(zhì)的材料，這是非?；镜囊徊?。

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造和封測(cè)廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于45納米到7納米及更先進(jìn)的加工工藝和最先進(jìn)的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)40多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行的中微反應(yīng)臺(tái)（包括介質(zhì)刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個(gè)。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備不僅已在客戶生產(chǎn)線投入量產(chǎn)，而且已成為在藍(lán)光LED市場(chǎng)占有率最大的領(lǐng)先設(shè)備

作為MOCVD設(shè)備的巨頭之一，美國維易科精密儀器有限公司市場(chǎng)營(yíng)銷總監(jiān)Mark MCKEE帶來了關(guān)于MOCVD最新市場(chǎng)及技術(shù)進(jìn)展的報(bào)告。Mark MCKEE表示，非常希望以最低的成本得到最高的性能表現(xiàn)，一方面要提高效率，在一些關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)力，比如均一性方面需要......請(qǐng)您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復(fù)觀看！

北京大學(xué)教授陳志忠介紹了基于納米圖案藍(lán)寶石襯底通過MOCVD生長(zhǎng)藍(lán)綠色LED。陳志忠表示，GaN基青光LED通過低壓金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）生長(zhǎng)得到。首先在成核層上進(jìn)行兩步法高溫生長(zhǎng)GaN模板，接著在模板上生長(zhǎng)青光LED，波長(zhǎng)為490nm。通......請(qǐng)您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復(fù)觀看！

愛思強(qiáng)全球副總裁Michael HEUKEN ：Micro LED顯示屏-高產(chǎn)率MOCVD工藝路徑。報(bào)告中，Michael HEUKEN 分享了關(guān)于 Micro LED相關(guān)設(shè)備的研究進(jìn)展及成果，也包括一些生產(chǎn)平臺(tái)等技術(shù)。他同時(shí)表示，未來非常期待手機(jī)顯示器就.....請(qǐng)您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復(fù)觀看！

中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司主任研究員胡建正分享了介紹了基于高產(chǎn)率MOCVD平臺(tái) - AMEC Prismo A7TM的氮鎵LED生長(zhǎng)研究。胡建正主要研究基于GaN材料的LED器件設(shè)計(jì)、性能及可靠性分析。主要參與進(jìn)行了中微第一代及第二代MOCVD的設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)及...請(qǐng)您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復(fù)觀看！