日前，上海精測半導體國內(nèi)首臺12寸獨立式光學線寬測量設備（OCD）與國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）順利出機。
上海精測半導體母公司精測電子7月13日披露的投資者調(diào)研紀要中指出，上述兩款出機產(chǎn)品的客戶為晶圓代工廠商中芯國際。前不久，東方晶源首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）也宣布斬獲訂單并出機中芯國際。
圖片來源：上海精測半導體
據(jù)介紹，上海精測半導體12寸獨立式光學線寬測量機臺(OCD)是該類型的國內(nèi)首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節(jié)點的快速線寬測量。12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）是全自動晶圓在線電子束缺陷復查和分類設備，對光學缺陷檢測設備的結果進行高分辨率復查、分析和分類。
資料顯示，上海精測半導體成立于2018年7月，為精測電子旗下子公司，主要聚焦半導體前道檢測設備領域， 致力于半導體前道量測檢測設備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD 量測設備、電子束量測設備、泛半導體設備三大產(chǎn)品系列。
精測電子投資者調(diào)研紀要信息顯示，上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設備）已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復訂單、OCD量測設備已取得訂單并已實現(xiàn)交付，半導體電子束檢測設備eViewTM 全自動晶圓缺陷復查設備已正式交付國內(nèi)客戶。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認證以及拓展的過程中。
據(jù)了解，精測電子是國內(nèi)較早從事平板顯示檢測系統(tǒng)業(yè)務公司之一，在平板顯示領域已取得一定的市場地位，近年來正加速向半導體檢測設備領域拓展。
2020年年報顯示，精測電子目前已基本形成在半導體檢測前道、后道全領域的布局——子公司武漢精鴻主要聚焦自動檢測設備（ATE）領域（主要產(chǎn)品是存儲芯片測試設備）；子公司W(wǎng)INTEST以及其在武漢的全資子公司偉恩測試現(xiàn)階段主要聚焦驅(qū)動芯片測試設備領域；子公司上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域。
