據(jù)杭州經(jīng)信官微消息，近日，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地傳出喜訊：首臺國產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機已在客戶現(xiàn)場進(jìn)入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

據(jù)悉，依托省重點實驗室，研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式走向市場。團隊負(fù)責(zé)人稱：“這不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”

據(jù)研發(fā)團隊相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，取名“羲之”，是因其在芯片上刻寫電路的精密“書寫”能力與書法家王羲之的毛筆神韻相契合。這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達(dá)到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無需掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。

據(jù)了解，此類設(shè)備先前長期受國際出口管制，國家實驗室、中科大、之江實驗室等國內(nèi)頂尖科研機構(gòu)長期無法采購。“羲之”的落地徹底打破這一困局，其定價低于國際均價，目前已與華為海思等企業(yè)及多家科研機構(gòu)展開接洽。