
9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術(shù)及應用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,中國電子科技集團公司第四十八研究所工藝負責、高級工程師謝添樂將受邀出席論壇,并帶來《寬禁帶化合物半導體外延關(guān)鍵裝備解決方案》的主題報告,敬請關(guān)注!

嘉賓簡介
謝添樂,博士,高級工程師,就職于中國電科48所半導體裝備研究部,任研究部工藝總負責人,長期從事寬禁帶化合物半導體外延工藝開發(fā)與MOCVD裝備研制相關(guān)工作,發(fā)表SCI論文十余篇,主持或參與省部級重點研發(fā)項目近十項,項目累計金額超2億元,其中作為工藝總負責人研制的6-8英寸SiC外延裝備核心技術(shù)指標行業(yè)先進,并實現(xiàn)了大規(guī)模銷售,市場規(guī)模超5億元。
單位簡介
中國電子科技集團公司第四十八研究所(以下簡稱48所),又名長沙半導體工藝設(shè)備研究所,1964年成立于長沙市,是中國電子科技集團有限公司所屬的國家級半導體工藝設(shè)備研究所。
48所技術(shù)力量雄厚,專業(yè)門類齊全,是國內(nèi)主要從事“三束”(離子束、分子束、電子束)裝備、第三代半導體裝備、集成電路裝備研發(fā)以及鋰電材料裝備、光伏電池裝備、磁性材料裝備、冶金材料裝備、特種傳感器與系統(tǒng)、成套裝備解決方案等技術(shù)為主的軍民兩用型骨干科研生產(chǎn)單位。
48所現(xiàn)有在職職工1500余人(含管理的公司)。擁有國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心(湖南)、國防科技工業(yè)有源層優(yōu)化生長創(chuàng)新中心、國家光伏裝備工程技術(shù)研究中心、中國-埃及可再生能源“一帶一路”實驗室等5個國家部委級平臺和薄膜傳感湖南省國防重點實驗室等4個省部級平臺和博士后科研工作站。
48所始終立足于行業(yè)科技發(fā)展的最前沿,努力提高自主創(chuàng)新能力,先后取得重大科研成果400余項,其中填補國內(nèi)空白148項、達到國際先進水平141項、列為國家替代進口119項,擁有知識產(chǎn)權(quán)505項,其中發(fā)明專利310項,軟件版權(quán)77項,制定國家標準3項,國家軍用標準1項,行業(yè)標準30項,發(fā)布SEMI標準11項。、
報告前瞻
報告題目:寬禁帶化合物半導體外延關(guān)鍵裝備解決方案
報告摘要:以SiC、GaN、Ga2O3為代表的寬/超寬禁帶化合物半導體材料因具有高擊穿場強、高熱導率、高電子飽和速率、抗輻射性能好等物理特性,已成為未來高性能電子系統(tǒng)的核心材料,其應用覆蓋能源、交通、通信、國防等關(guān)鍵領(lǐng)域,對全球科技競爭和產(chǎn)業(yè)升級具有決定性意義。隨著技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化加速,其市場規(guī)模預計將從2023年的約50億美元增長至2030年的300億美元以上。本報告將以器件發(fā)展趨勢為牽引,分析現(xiàn)階段SiC、GaN、Ga2O3等寬禁帶化合物半導體外延工藝特點及遇到的瓶頸問題,提出外延工藝所需的裝備的功能及性能指標,并從裝備研制的視角出發(fā),通過采用機理分析、模擬仿真等多種手段助力關(guān)鍵零部件正向設(shè)計,最終形成一系列寬禁帶化合物半導體外延關(guān)鍵裝備解決方案。
附會議信息:
【會議時間】 2025年9月26-28日
【會議地點】云南·昆明
【指導單位】
第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)
中關(guān)村半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.ppsjj.cn)
半導體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導體產(chǎn)業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學院半導體研究所
云南大學
山東大學
云南師范大學
昆明理工大學
晶體材料全國重點實驗室
.....
【關(guān)鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
【主要方向】
1.化合物半導體單晶與外延材料
(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設(shè)計等)
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
(大硅片生長及及應用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機械拋光,摻雜調(diào)控離子注入等)
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關(guān)鍵裝備
(高純前驅(qū)體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設(shè)備與材料,檢測設(shè)備等)
4.測試評價及AI for Science
(AI 驅(qū)動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調(diào)控、缺陷實時檢測與修復,多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)
5.光電子器件工藝與應用
(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達,光通信,量子技術(shù)等)
6.通訊射頻器件工藝與應用
(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關(guān)器件,移動通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機,射頻能量等)
7.能源電子及應用
(風電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費電子,儀器儀表等)
8.綠色廠務及質(zhì)量管控
(潔凈廠房,高純水制備,化學品供應,特氣供應,廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應及質(zhì)量管控等)
【程序委員會】
大會主席:惠峰 (云南鍺業(yè))
副主席:陳秀芳(山東大學)、趙璐冰(CASA)
委員:趙德剛(中科院半導體所)、康俊勇(廈門大學)、 徐寶強(昆明理工)、皮孝東(浙江大學)、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學)、李強(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學)、郭杰(云師大)、王茺(云南大學)、邱峰(云南大學)、楊杰(云南大學)、謝自力(南京大學)、葛振華(昆明理工大學)、田陽(昆明理工大學)、魏同波(中科院半導體所)、許福軍(北京大學)、徐明升(山東大學)、孫海定(中國科學技術(shù)大學)、田朋飛(復旦大學)、劉玉懷(鄭州大學)、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導體所)、高娜(廈門大學)、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學)、李寶學(云鍺紅外) ......等
【日程安排】

【擬參與單位】
中科院半導體所、鑫耀半導體,南砂晶圓,藍河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學,廈門大學,士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學,西安電子科技大學,中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實驗室,中微公司,矢量集團,晶盛機電,連科半導體,晶澳太陽能 美科太陽能 高景太陽能 中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學,阿特斯陽光電力,山東大學,云南師范大學,中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導體,南砂晶圓、西安聚能超導,蘇州納維,中科院物理所,浙江大學,云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學,深圳平湖實驗室,中科院長春光機所,廣東工業(yè)大學,南方科技大學, 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復旦大學,中國科學技術(shù)大學, 西安交通大學,江蘇第三代半導體研究院, 光迅科技,鎵和半導體 全磊光電 新易盛 昆明物理所,科友半導體,STR,河北同光,香港科技大學,深圳納設(shè) 中科院蘇州納米所,中科院上海光機所,哈工大等等
【活動參與】
1、注冊費:會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、繳費方式:
①銀行匯款
開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號:336 356 029 261
名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
②在線注冊

掃碼注冊報名
③現(xiàn)場繳費(微信+支付寶)
【論文投稿及報告咨詢】
賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986,linan@casmita.com
【參會參展及商務合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會議酒店】
酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址:中國(云南)自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價格:430元/晚(含雙早)
酒店預定聯(lián)系: 陳經(jīng)理,13759452505(微信同號)
郵箱:13759452505@139.com
