近日,年度國際第三代半導(dǎo)體行業(yè)盛會——第十一屆國際第三代半導(dǎo)體論壇&第二十二屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(IFWS&SSLCHINA 2025)在廈門隆重召開,本屆論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、廈門大學(xué)(XMU)共同主辦,以“鏈通全球·芯動未來”為主題,匯聚全球頂級精英,技術(shù)與產(chǎn)業(yè)并舉,全面覆蓋半導(dǎo)體照明和第三代半導(dǎo)體及相關(guān)領(lǐng)域的前沿?zé)狳c、技術(shù)應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)趨勢。

期間,在“氮化鎵功率電子器件技術(shù)”分論壇上,中國科學(xué)院近代物理研究所副研究員胡培培做了“GaN材料及器件重離子輻照效應(yīng)研究進(jìn)展”的主題報告,分享了GaN材料輻照損傷研究、GaN器件單粒子效應(yīng)研究成果。
基于GaN制備的高頻、高壓、寬帶的微波器件和功率器件,能夠滿足雷達(dá)探測、衛(wèi)星通訊、電源推進(jìn)器等空間電子系統(tǒng)對器件高頻、高功率和小體積的要求。GaN器件空間應(yīng)用需求廣泛,但器件對輻射環(huán)境比較敏感,輻射損傷機(jī)理不清晰,缺乏有效的加固手段,導(dǎo)致空間應(yīng)用受阻。高能離子輻照引起器件材料結(jié)構(gòu)損傷會導(dǎo)致宏觀性能退化甚至失效,中、高能重離子與材料相互作用,電子能損起主導(dǎo)作用。


報告中詳細(xì)分享了GaN材料潛徑跡形成研究、GaN器件單粒子效應(yīng)研究等成果,研究獲得了潛徑跡形成的電子能損閾值,為器件抗輻射評估提供了理論依據(jù)。首次在GaN器件中觀察到氣泡狀潛徑跡,為器件失效分析拓展了新思路。研究顯示,高溫和高場是引發(fā)單粒子燒毀的主要誘因,分散敏感區(qū)電場是抗輻射加固的核心 。

報告指出,重離子輻照后GaN材料中潛徑跡形成,引起器件電學(xué)性能退化甚至失效。“熱”燒毀和“電”擊穿兩種單粒子燒毀機(jī)制中,器件結(jié)構(gòu)起主導(dǎo)作用。對于器件加固措施建議:采用P型柵設(shè)計,弱化溝道電場;電極場板結(jié)構(gòu)設(shè)計,分散電場分布;探索高K介電材料,防止介電擊穿;采用高熔點的電極材料,防止熱燒毀;提高器件的散熱能力,防止熱燒毀。
(根據(jù)現(xiàn)場資料整理,僅供參考)
