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《非極性(11-20)面P型GaN和全組分InGaN的MOCVD生長與研究》作者：趙見國，陳凱，胡文曉，宮毛高，劉斌，陶濤，謝自力，嚴羽，張

德國愛思強產(chǎn)品管理總監(jiān)Jens VOIGT介紹了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解決方案》主題報告。他介紹說，愛思強的行星式反應器平臺是生產(chǎn)具有最高一致性、重復性和缺陷控制標準的化合物半導體器件的已建立的平臺，例如用VCSEL激光器證明的3D傳感器技術，這是當前高容量需求的關鍵驅(qū)動因素之一。同樣的要求組合也適用于Micro-LED技術：在低的缺陷水平下，結合外延層的高通量結構具有非常高的精度。行星式反應器平臺技術已經(jīng)被

特阿卜杜拉國王科技大學的Kazuhiro OHKAWA教授介紹了《AlGaN 材料MOCVD生長優(yōu)化和反應器設計》研究報告。報告中，在較寬的壓力、Al /（Ga + Al）比例和溫度范圍內(nèi)成功仿真AlGaN生長?？紤]到適量聚合物的形成，仿真中AlGaN的生長速率和組分與實驗中的非常一致。這一技術使我們有可能優(yōu)化氮化物MOCVD并設計升級反應器。

美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監(jiān)Mark MCKEE分享了《Micro-LED顯示屏：關鍵制造挑戰(zhàn)和MOCVD技術》報告。他介紹到，微型LED顯示屏比其他顯示技術，如背光LED顯示屏、OLED顯示屏和等離子顯示屏，具有更高的亮度、更高的功率效率，而且更加堅固柔韌。然而，微型LED顯示屏的缺點之一是制作復雜，這導致了較高的顯示成本。在嚴格堅持目標成本的同時，微型LED顯示屏優(yōu)秀性能和良率為其制造帶來了許多挑戰(zhàn)。報告中提出，從外延和LE

　江蘇大學左然教授分享了《AlN MOCVD的氣相和表面反應機理的量子化學計算》研究報告。他介紹到，課題組利用量子化學的密度泛函

中微半導體設備（上海）有限公司副總裁MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平帶來了《氮化物深紫外LED生產(chǎn)型MOCVD機臺設計及外延生長的挑

為了使基于AlGaN材料的深紫外LED能夠更廣泛地應用于固化、水和空氣的凈化及醫(yī)療消毒等各方面，必須要大幅地降低其成本。提高深紫

瑞典查爾姆斯理工大學副教授Jie SUN帶來了關于GaN光電器件CVD石墨烯透明電極研究進展，讓與會代表拍手稱贊！ 石墨烯傳統(tǒng)上是通過石墨機械剝落制備的，且大面積單層石墨烯的制備很有挑戰(zhàn)性。為此，化學氣相沉積（CVD）在過渡金屬上石墨烯最近被發(fā)展。自2009年以來，在Chalmers我們已經(jīng)在金屬箔（Cu，Pt，Ta等）上生長了單層石墨烯，在硅襯底上蒸鍍了金屬薄膜.9-9 CH4或C2H2作為反應物，石墨烯通過商業(yè)直冷式Aixtron系統(tǒng)生長。通過濕化學法蝕刻銅或更環(huán)保的電化學氣泡分層，石墨烯可以轉(zhuǎn)移到

鄭州大學物理工程學院院長、教授單崇新介紹了高質(zhì)量金剛石的CVD生長。金剛石是自然界產(chǎn)生的最堅硬的一種材料，因為它極高的硬度，一直被當做是打磨的工具，切割的工具等，在不同的方面都有應用，日常生活以及工業(yè)生產(chǎn)中都能用到金剛石。除了高硬度以外，金剛石還有很多其他獨特的特點，很適合當做半導體材料，比如非常高的帶隙、電壓、非常高的熱傳導性等，這些特點使得金剛石一直被認為是重要的，也是非常有潛力的下一代半導體器件的原料。把金剛石材料轉(zhuǎn)變成金剛石器件還有很長的路要走，也需要很多高品質(zhì)的材料，這是非?；镜囊徊?。

中微半導體設備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)40多條國際領先的生產(chǎn)線上運行的中微反應臺（包括介質(zhì)刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設備不僅已在客戶生產(chǎn)線投入量產(chǎn)，而且已成為在藍光LED市場占有率最大的領先設備

作為MOCVD設備的巨頭之一，美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監(jiān)Mark MCKEE帶來了關于MOCVD最新市場及技術進展的報告。Mark MCKEE表示，非常希望以最低的成本得到最高的性能表現(xiàn)，一方面要提高效率，在一些關鍵領域發(fā)力，比如均一性方面需要......請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！

北京大學教授陳志忠介紹了基于納米圖案藍寶石襯底通過MOCVD生長藍綠色LED。陳志忠表示，GaN基青光LED通過低壓金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD）生長得到。首先在成核層上進行兩步法高溫生長GaN模板，接著在模板上生長青光LED，波長為490nm。通......請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！

愛思強全球副總裁Michael HEUKEN ：Micro LED顯示屏-高產(chǎn)率MOCVD工藝路徑。報告中，Michael HEUKEN 分享了關于 Micro LED相關設備的研究進展及成果，也包括一些生產(chǎn)平臺等技術。他同時表示，未來非常期待手機顯示器就.....請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！

中微半導體設備(上海)有限公司主任研究員胡建正分享了介紹了基于高產(chǎn)率MOCVD平臺 - AMEC Prismo A7TM的氮鎵LED生長研究。胡建正主要研究基于GaN材料的LED器件設計、性能及可靠性分析。主要參與進行了中微第一代及第二代MOCVD的設計、工藝開發(fā)及...請您在WIFI條件下觀看！或下載極智APP收藏反復觀看！