國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，浙之芯（杭州）半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請一項名為“一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置”的專利，公開號CN 119141232 A，申請日期為2024年9月。

專利摘要顯示，本發(fā)明涉及氮化鎵傳感器制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氮化鎵傳感器及制備方法和裝置，包括底座和制備組件，制備組件包括底部移動單元、移動架、多個回彈單元下壓板防滑保護(hù)板、第一驅(qū)動單元、第一刀片、第二驅(qū)動單元、第二刀片和上推單元，通過第一刀片從上方對襯底切割，改變尺寸大小，啟動第二驅(qū)動單元，通過第二刀片從側(cè)面對襯底切割，改變襯底厚度，最后上推單元啟動，將下壓板襯底上推，然后底部移動單元帶動移動架和下壓板遠(yuǎn)離襯底，不再抵持，將切割完成的襯底進(jìn)行拋光，使其適配不同的氮化鎵傳感器需求，制備襯底方便快捷，從而大大提高氮化鎵傳感器的制備效率。