4月2日，君原電子與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷建設(shè)半導(dǎo)體靜電吸盤項目。

靜電吸盤作為晶圓生產(chǎn)設(shè)備的核心部件之一，是利用靜電吸附、搬運(yùn)晶圓的陶瓷托盤，如同芯片制造的“隱形手”，用在刻蝕機(jī)、光刻機(jī)、鍍膜設(shè)備上，能固定晶圓，確保其紋絲不動。由于陶瓷材料和精密電極的制造難度高，半導(dǎo)體靜電吸盤生產(chǎn)技術(shù)是國內(nèi)企業(yè)在推進(jìn)芯片制造國產(chǎn)化中需要攻克的重要技術(shù)之一。

君原電子成立于2020年，具備半導(dǎo)體靜電吸盤（ESC）從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程能力，其產(chǎn)品覆蓋14納米及以上制程的主要刻蝕機(jī)臺應(yīng)用，已通過國內(nèi)12寸晶圓廠驗證。

此次簽約項目落戶光谷筑芯科技產(chǎn)業(yè)園，將建設(shè)靜電吸盤產(chǎn)線，就近為光谷集成電路企業(yè)提供靜電吸盤生產(chǎn)與維修服務(wù)。

君原電子總經(jīng)理王繼增表示，項目落戶光谷，將進(jìn)一步拉近與光谷集成電路企業(yè)的距離，降低物流成本，提高產(chǎn)品應(yīng)用效率。未來公司將與當(dāng)?shù)禺a(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同合作，不斷突破半導(dǎo)體靜電吸盤技術(shù)，力爭成為全球技術(shù)領(lǐng)先的集成電路核心零部件供應(yīng)商。

東湖高新區(qū)負(fù)責(zé)人表示，將營造更好營商環(huán)境，聚集更多集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)專心、安心在光谷發(fā)展，推動光谷建設(shè)“世界存儲之都”“全球化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心”。

（來源：中國光谷）