至純科技發(fā)布公告稱，擬向不超過35名特定投資者，定增募資18億元，扣除發(fā)行費用后，4億元用于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產業(yè)化項目，1.6億元用于至純北方半導體研發(fā)生產中心項目，7億元用于啟東半導體裝備產業(yè)化基地二期項目，剩余5.4億元用于補充流動資金或償還債務。

對于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產業(yè)化項目。公告指出，本次項目建成后將成為公司高階制程單片濕法裝備及零部件研發(fā)與產業(yè)化基地，在設計、制造及研發(fā)上實現(xiàn)從成熟制程往高階先進制程的路徑，裝備與核心零部件將形成雙向協(xié)同，項目達成后將形成高階制程單片濕法模塊年產100套，各類零部件年產近2,000套，進一步提高生產規(guī)模和產品產能，是公司戰(zhàn)略目標達成的重要支撐。

至純北方半導體研發(fā)生產中心項目的實施將擴大公司生產規(guī)模、增強公司產品下游應用領域，同時針對北方客戶需求對產品進行定制化研發(fā)以提升產品競爭力，鞏固并提升公司的行業(yè)地位。本項目達產后，公司預計將實現(xiàn)年產系統(tǒng)集成及支持設備30套、半導體濕法設備15臺、半導體零部件2,610套的生產能力。

啟東半導體裝備產業(yè)化基地二期項目主要用于研發(fā)并量產爐管與涂膠顯影等集成電路設備、光伏制絨清洗設備等泛半導體工藝設備，以及設備配套核心零部件等產品。本次項目建成并達成后，將形成年產爐管、涂膠顯影等集成電路設備50套，光伏工藝設備120套，面板制程設備10套，系統(tǒng)集成及工藝設備逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生產規(guī)模。