4月25日，拓荊科技（上海）半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”主體鋼結(jié)構(gòu)全面完工封頂。上海地產(chǎn)閔虹集團(tuán)消息顯示，該項(xiàng)目建筑面積約10萬㎡，用于開發(fā)先進(jìn)的ALD薄膜工藝技術(shù)及高產(chǎn)能設(shè)備平臺(tái)，并實(shí)現(xiàn)以臨港為中心客戶群所需半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。

拓荊科技（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“拓荊科技”）成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司在臨港設(shè)立的全資子公司。拓荊科技主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是國(guó)內(nèi)專用量產(chǎn)型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設(shè)備的企業(yè)。