7月14日11時38分,重慶奧松半導體特色芯片產業(yè)基地(下稱“奧松半導體項目”)迎來具有里程碑意義的時刻——8英寸生產線首臺光刻機設備,在眾人關切注視的目光中平穩(wěn)進場。

首臺光刻機的成功搬入,意味著產線正式進入設備安裝調試階段,距離8月底通線試產、第四季度產能爬坡并交付客戶的既定目標指日可待。這一目標的實現(xiàn),將實現(xiàn)各類MEMS半導體傳感器產品從研發(fā)到量產的無縫銜接,對重慶乃至整個集成電路行業(yè)都具有深遠意義。
奧松半導體項目計劃總投資35億,涵蓋8英寸特色傳感器芯片量產線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級傳感器可靠性檢測中心、產學研科研中心及奧松半導體研發(fā)辦公大樓等。技術能力覆蓋各類MEMS特色工藝,形成了一個完整、高效的產業(yè)生態(tài)系統(tǒng),可實現(xiàn)各類MEMS半導體傳感器產品從研發(fā)到量產的無縫銜接,為產業(yè)發(fā)展提供全方位支持。
自2024年取得施工許可證以來,項目建設便開啟了高效推進模式。2025年4月,所有建筑主體順利封頂,展現(xiàn)出強大的執(zhí)行力和高效的組織協(xié)調能力。而在封頂之后,僅僅3個多月,生產線核心裝備光刻機便成功入駐,項目隨之步入設備安裝調試階段。這一系列快速推進的成果,充分展現(xiàn)了“科學城速度”,彰顯了在項目建設管理、資源整合等方面的卓越實力。
接下來幾天,將陸續(xù)搬入用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產、系統(tǒng)應用等各類工藝和輔助設備,全部設備計劃于月底前搬入完成,第2臺光刻機也將于8月搬入。待一期項目達產后,將形成每月10000 - 20000片晶圓的產能,為市場提供穩(wěn)定、優(yōu)質的產品供應,滿足不斷增長的市場需求。

