據(jù)合肥新站區(qū)消息，10月15日，新站高新區(qū)和鋐棋(合肥)科技有限公司半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備燈罩組件及耗材項(xiàng)目正式簽約，填補(bǔ)了國內(nèi)半導(dǎo)體核心高精密耗材空白。

鋐棋（合肥）科技有限公司是一家專注于半導(dǎo)體高端精密耗材研發(fā)與制造的高新技術(shù)企業(yè)，致力于在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體核心零部件的本土化生產(chǎn)與創(chuàng)新突破，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵耗材，如shower head（氣體分布盤） 和lamp housing（燈罩組件），廣泛應(yīng)用于先進(jìn)制程工藝。目前，鋐棋科技已成為國內(nèi)少數(shù)能夠量產(chǎn)5納米先進(jìn)制程核心零部件的企業(yè)之一。

該項(xiàng)目總投資2億元，計(jì)劃租賃“芯”視界產(chǎn)業(yè)園辦公樓和廠房，主要從事半導(dǎo)體光刻與清洗環(huán)節(jié)的核心零部件燈罩組件及噴淋頭等耗材的生產(chǎn)制造，將聯(lián)合臺(tái)灣永康公司共同開展項(xiàng)目運(yùn)營。該項(xiàng)目建成后，將實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵耗材的國產(chǎn)化替代，以降低對(duì)國外供應(yīng)鏈的依賴，保障產(chǎn)業(yè)鏈安全。