一方面，國內(nèi)半導體制造設備市場逐漸成長；另一方面，國內(nèi)芯片制程廠商也開始逐漸使用國產(chǎn)設備。北方華創(chuàng)（002371，SZ），正是國內(nèi)產(chǎn)品種類最豐富的半導體設備廠商。截至12月22日，北方華創(chuàng)的股價在2021年內(nèi)漲幅接近90%。

 

受2021年以來持續(xù)的“缺芯”影響，各大半導體廠商大幅建廠擴產(chǎn)。特別是臺積電宣稱未來3年內(nèi)將投入1000億美元增加產(chǎn)能。除臺積電外，三星、英特爾、格芯、中芯國際等半導體制造企業(yè)均有大規(guī)模投資建廠的計劃。

 

中國大陸市場半導體設備需求尤為火熱，根據(jù)9月7日SEMI發(fā)布的《全球半導體設備市場報告》，2021年第二季度全球半導體設備出貨金額達249億美元，創(chuàng)歷史新高，同比增長48%。中國大陸、韓國、中國臺灣地區(qū)位列前三：中國大陸第二季度半導體設備出貨82.2億美元，同比增長79%；韓國第二季度半導體設備出貨額為66.2億美元，同比增長48%；中國臺灣地區(qū)第二季度半導體設備出貨50.4億美元，同比增長44%。

 

目前全球半導體設備市場主要由美國、日本、荷蘭廠商控制。國內(nèi)廠商方面，主要以北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海為主。晶圓制造過程主要包括7個相互獨立的工藝流程：光刻、刻蝕、薄膜沉積、擴散、離子注入、化學機械拋光、金屬化。其中，光刻、刻蝕、薄膜沉積為設備價值最高的三個流程，價值占比之和超過50%。另外，隨著工藝復雜度的提高，清洗設備的重要性也在逐漸提高。

 

相比中微公司側重刻蝕，盛美上海側重清洗，北方華創(chuàng)的產(chǎn)品則覆蓋刻蝕、薄膜沉積和清洗。北方華創(chuàng)在2020年年報中表示：“公司集成電路先進制程多種產(chǎn)品通過客戶驗證，成熟制程設備工藝覆蓋率快速提升?？涛g機、PVD、立式爐、清洗機等產(chǎn)品在集成電路、先進封裝主流客戶實現(xiàn)規(guī)模銷售。”

 

 

國產(chǎn)廠商已經(jīng)在刻蝕設備、清洗設備、薄膜沉積設備中占據(jù)部分市場份額。以長江存儲2021年9月至11月上旬數(shù)據(jù)為例，其刻蝕設備主要采購自北方華創(chuàng)，共計2臺，另有4臺薄膜沉積設備采購自北方華創(chuàng)。

 

此案例中，長江存儲采購自北方華創(chuàng)各項設備的量并非最多，但產(chǎn)品種類確實最廣，包括薄膜沉積設備、退火設備、刻蝕設備、氧化設備和爐管設備，各類產(chǎn)品數(shù)量合計10多臺。

 

根據(jù)東吳證券數(shù)據(jù)，截至2020年12月，半導體設備中，刻蝕設備、薄膜沉積設備、量檢測設備、清洗設備、離子注入設備、CMP設備、涂膠顯影設備的國產(chǎn)設備率分別為7%、8%、2%、20%、2%、10%、7%，而光刻設備的國產(chǎn)設備率仍是0%。

 

可以看出，薄膜沉積設備方面，北方華創(chuàng)中標的PVD（物理氣相沉積）、CVD（化學氣相沉積）、ALD（原子層沉積）設備分別為14臺、5臺和1臺，共計20臺；中微公司中標的MOCVD（金屬有機化合物化學氣相沉積）設備為1臺；沈陽拓荊中標的CVD為24臺。也就是說，在上述時間段中，北方華創(chuàng)在薄膜沉積設備銷量方面僅次于沈陽拓荊，在國產(chǎn)廠商中排名第二。

 

清洗設備方面，北方華創(chuàng)中標的濕法清洗設備為13臺。而芯源微、盛美上海、屹唐半導體中標的濕法清洗設備分別為8臺、14臺和2臺。即北方華創(chuàng)在上述時間段中，于國產(chǎn)清洗設備廠商中銷量排名第二，僅次于盛美上海。