國家知識產(chǎn)權局信息顯示，浙江睿熙科技有限公司申請一項名為“VCSEL 集成晶圓及其制造方法”的專利，公開號 CN 119134035 A，申請日期為 2023 年 7 月。
專利摘要顯示，公開了一種 VCSEL 集成晶圓及其制造方法，其中，所述 VCSEL 集成晶圓包括：至少一 VCSEL 芯片、與所述 VCSEL 芯片相間隔的至少一光電二極管芯片，以及，在晶圓級別上集成于所述 VCSEL 芯片的熱電制冷結構，每一 VCSEL 芯片包括至少一 VCSEL 發(fā)光點；所述 VCSEL 芯片和所述光電二極管芯片共用襯底層；所述熱電制冷結構包括多個熱電偶對，每一熱電偶對包括相互電連接的 P 型結構和 N 型結構。
