化合物半導(dǎo)體外延質(zhì)量和芯片加工良率保證都需要先進(jìn)量測(cè)技術(shù)。光致發(fā)光 (Photoluminescence，簡(jiǎn)稱PL) 是一種在半導(dǎo)體工藝及研究中廣泛應(yīng)用的無損檢測(cè)技術(shù)，是半導(dǎo)體材料研發(fā)與質(zhì)量控制的重要手段。
近日，第十一屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇&第二十二屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS&SSLCHINA 2025）在廈門召開。
期間，HORIBA集團(tuán)半導(dǎo)體事業(yè)部半導(dǎo)體量測(cè)產(chǎn)品經(jīng)理熊洪武受邀參會(huì)，并在“氮化物材料生長(zhǎng)及光電技術(shù)”分會(huì)上帶來了《光致發(fā)光光譜技術(shù)在化合物半導(dǎo)體中的應(yīng)用》的主題報(bào)告，分享了相關(guān)研究最新進(jìn)展及成果，涉及化合物半導(dǎo)體及外延工藝、光致發(fā)光應(yīng)用（PL光譜成像、PL強(qiáng)度成像 ）等內(nèi)容。
報(bào)告主要介紹了基于HORIBA-EtaMax的光致發(fā)光光譜技術(shù)及其解決方案，在LED，GaAs/InP激光器（VCSEL等），功率器件以及Mini/Micro LED等方面的應(yīng)用，包括測(cè)量PL峰值波長(zhǎng)，峰值強(qiáng)度，半高寬，鋁組分，外延層厚度，DBR，BOW等以及SiC缺陷識(shí)別與分類和MicroLED的缺陷檢測(cè)。
HORIBA是研究級(jí)光致發(fā)光光譜測(cè)試系統(tǒng)的主要供應(yīng)商，今年全自動(dòng)PL光譜測(cè)試系統(tǒng)的領(lǐng)先制造商EtaMax加入HORIBA集團(tuán)，通過此次并購(gòu)將HORIBA的光譜核心技術(shù)與EtaMax的軟件及自動(dòng)化檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，加速新產(chǎn)品研發(fā)并提升系統(tǒng)解決方案的能力，從而為化合物半導(dǎo)體晶圓量產(chǎn)過車中的良率提升和品質(zhì)管理提供有力支持。
因卓越的產(chǎn)品和服務(wù)榮膺由兩大論壇聯(lián)合頒發(fā)的“檢測(cè)量測(cè)設(shè)備年度推薦品牌”獎(jiǎng)，彰顯了公司在該領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。
關(guān)于 HORIBA
HORIBA成立至今已有70多年，是一家歷史悠久的跨國(guó)集團(tuán)公司?？偛课挥谌毡?，現(xiàn)已在全球29個(gè)國(guó)家設(shè)立50家分公司，構(gòu)建了覆蓋全球的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。在能源、環(huán)境、生物、醫(yī)療、先進(jìn)材料與半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域，HORIBA為全球政府、高校及工業(yè)企業(yè)提供高精密的計(jì)量?jī)x器和先進(jìn)的檢測(cè)分析工具。業(yè)務(wù)范圍涵蓋發(fā)動(dòng)機(jī)排放檢測(cè)、科學(xué)分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、半導(dǎo)體工藝過程控制、體外醫(yī)療診斷、生物技術(shù)及新能源發(fā)展與利用等。多年來，HORIBA順應(yīng)市場(chǎng)的不斷變化，堅(jiān)持創(chuàng)新，為全球客戶提供具有高適配度、高附加值且性能卓越的產(chǎn)品與服務(wù)，是科研、企業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)制造及質(zhì)量控制的優(yōu)選伙伴。
產(chǎn)品介紹
半導(dǎo)體材料表征解決方案
1.結(jié)構(gòu)表征
· 微區(qū)應(yīng)力分析
· 材料晶型鑒別、摻雜缺陷
· 量子阱深度剖析
· 載流子濃度，器件結(jié)溫分析
· 微晶硅晶化率分析
· Si/SiC /GaN/GaAs/InP
儀器：LabRAM Odyssey 高速高分辨顯微共焦拉曼光譜儀
2.薄膜厚度
· 材料薄膜厚度測(cè)量
· SiO2、SiNx等從幾埃到幾十μm厚度
· 折射率、消光系數(shù)分析
儀器：UVISEL PLUS 研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀
3.光致發(fā)光PL
· 晶圓表面缺陷、污染物檢測(cè)
· 載流子濃度和帶隙分析
· 外延層生長(zhǎng)均勻性和雜質(zhì)檢測(cè)
儀器： FluoroMax+/(P/TCSPC)高靈敏一體式熒光光譜儀
iHR320/iHR550成像光譜儀
Fluorolog-QMTM科研級(jí)熒光光譜儀
（根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理，僅供參考）
