天眼查顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司“光束整形系統”專利公布，申請公布日為2024年9月17日，申請公布號為CN118655710A。
本申請實施例公開了光束整形系統，用于以較低成本將光源發(fā)出的光束整形為均勻性較高且線寬較窄的線光斑。本申請實施例包括：光源，用于發(fā)出初始光束；第一自由曲面鏡，用于使所述初始光束中的能量均勻分布；第二自由曲面鏡，用于調整從所述第一自由曲面鏡出射的初始光束在第一軸向的尺寸，并使調整后的初始光束照射至待測表面形成線光斑，所述第一軸向與所述初始光束的光軸垂直或平行；其中，所述初始光束在第二軸向的尺寸由所述第一自由曲面鏡調整或者由所述第二自由曲面鏡調整，所述第一軸向與所述第二軸向垂直。
