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環(huán)球晶:12英寸方形碳化硅晶圓已開(kāi)發(fā)

日期:2025-09-16 閱讀:511
核心提示:半導(dǎo)體硅晶圓廠環(huán)球晶董事長(zhǎng)徐秋蘭宣布,環(huán)球晶已開(kāi)發(fā)出12吋方形碳化硅晶圓。

 9月10日,半導(dǎo)體硅晶圓廠環(huán)球晶董事長(zhǎng)徐秋蘭宣布,環(huán)球晶已開(kāi)發(fā)出12吋方形碳化硅晶圓。

徐秀蘭表示,在過(guò)去60年來(lái),半導(dǎo)體硅晶圓都是呈現(xiàn)圓形,后續(xù)制造也都是以圓形硅晶圓為基礎(chǔ)來(lái)考量。因此若改采用方形片,不只需要制程能力,還需要設(shè)備能力,因?yàn)椴](méi)有現(xiàn)成設(shè)備可用,相關(guān)周邊也要跟著變化,否則以晶圓盒來(lái)說(shuō),方形晶圓會(huì)比盒子還大,「連盒子都沒(méi)得裝」?;蚴侨绻杈A不透光,碳化硅晶圓卻透光,因此量測(cè)方面的問(wèn)題也要處理。

另外,徐秀蘭提到,目前市場(chǎng)上8吋碳化硅晶圓是以雷射切割,但12吋碳化硅晶圓切割方式仍待開(kāi)發(fā)。相較于其他做碳化硅的業(yè)者,沒(méi)有12吋晶圓的經(jīng)驗(yàn),環(huán)球晶已擁有12吋晶圓的很多經(jīng)驗(yàn),只是過(guò)去是生產(chǎn)硅產(chǎn)品,而不是碳化硅,如今該公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)出不用雷射的12吋碳化硅晶圓切割方法。

環(huán)球晶?前身是中美硅晶制品股份有限公司,2011年,中美硅晶將三大事業(yè)體(太陽(yáng)能、半導(dǎo)體、藍(lán)寶石)獨(dú)立分割,環(huán)球晶圓股份有限公司成立。

環(huán)球晶的產(chǎn)品光譜橫跨3至12吋,包括拋光片、退火片、SOI芯片、FZ芯片等,可應(yīng)用于醫(yī)療器材、風(fēng)力發(fā)電、高速鐵路、車(chē)用電子、航天設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域。此外,公司還積極布局碳化硅晶圓領(lǐng)域,其位于美國(guó)德州謝爾曼市的12英寸SiC晶圓廠已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。據(jù)悉,該工廠產(chǎn)品缺陷密度降至0.15/cm,吸引了英飛凌、安森美等車(chē)用芯片大廠簽訂五年長(zhǎng)約。

8月,環(huán)球晶(GlobalWafers)宣布已于6月從美國(guó)《芯片法案》獲得略超2億美元(約合人民幣14.4億元)的資金,約為其去年獲得的撥款總額的一半。

稍早一點(diǎn)的5月份,環(huán)球晶宣布其位于美國(guó)德州謝爾曼市的12英寸晶圓新廠正式啟用,目前新廠設(shè)備進(jìn)駐率已達(dá)30%-40%,并開(kāi)始小規(guī)模生產(chǎn)。據(jù)公開(kāi)資料介紹,該工廠GWA采用一貫制程的生產(chǎn)模式,實(shí)現(xiàn)了 “一條龍生產(chǎn)”。

此外,該園區(qū)總占地142英畝,可容納多達(dá)六期的擴(kuò)建。在工廠啟用的同時(shí),環(huán)球晶宣布計(jì)劃在現(xiàn)有35億美元投資的基礎(chǔ)上,追加 40億美元用于該工廠第三、四期擴(kuò)建工程,完成二階段建設(shè)后,廠區(qū)尚具備空間可進(jìn)行第五、第六期擴(kuò)建。

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