11月18日,甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺(以下簡稱:微納平臺)的8英寸驗證線正式通線。這一重要進展,標志著甬江實驗室已建成目前國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流的全鏈條異質(zhì)異構(gòu)集成共享平臺。
公開消息顯示,微納平臺是甬江實驗室在電子信息材料與器件領(lǐng)域布局建設(shè)的重要公共科研支撐服務(wù)平臺。該平臺聚焦“芯片異構(gòu)集成”與“微納光學(xué)”兩大方向,圍繞高速通訊、元宇宙、自動駕駛和智能機器人等未來產(chǎn)業(yè)所需的核心半導(dǎo)體制造技術(shù),提供從光電芯片材料生長、器件制備、模組開發(fā)到檢測驗證全流程前沿工藝技術(shù)開發(fā),以及先進的驗證手段和系統(tǒng)的解決方案。
寧波經(jīng)信消息顯示,微納平臺占地12000平方米,其中潔凈室面積6000平方米,已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗證線各一條,配備165臺(套)高端精密設(shè)備。8英寸驗證線的開通,“不僅是從‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升級,更是從‘概念驗證’到‘工程驗證’的能力躍遷。”甬江實驗室主任崔平說,這標志著微納平臺體系化能力的正式形成。
目前,微納平臺已構(gòu)建一個開放共享的基礎(chǔ)設(shè)施、一個中立可信的賦能平臺、一個鏈接產(chǎn)學(xué)研用的創(chuàng)新樞紐。今后將與企業(yè)共同探索從中試走向量產(chǎn)的可行路徑,為產(chǎn)業(yè)提供最需要、最關(guān)鍵的臨門一腳。
