半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉:近日,常州臻晶半導(dǎo)體有限公司與南昌大學(xué)國(guó)際材料創(chuàng)新研究院正式簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。臻晶半導(dǎo)體將向研究院提供自主研發(fā)的液相法碳化硅長(zhǎng)晶爐及全套工藝技術(shù)支持,雙方將重點(diǎn)圍繞 “8英寸厚SiC單晶的低成本制備” 這一產(chǎn)業(yè)核心課題展開深度聯(lián)合攻關(guān)。
據(jù)了解,臻晶半導(dǎo)體是致力于碳化硅液相法長(zhǎng)晶設(shè)備及技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的高新技術(shù)企業(yè),憑借多年技術(shù)沉淀構(gòu)建了深厚的核心競(jìng)爭(zhēng)力。公司創(chuàng)始人陸敏博士擁有超30年化合物半導(dǎo)體經(jīng)驗(yàn),其中近 10 年深耕液相法長(zhǎng)晶技術(shù),是國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域最早、最頂尖的專家之一。核心團(tuán)隊(duì)平均具備 20 年化合物半導(dǎo)體經(jīng)驗(yàn),臻晶構(gòu)建了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)壁壘:獨(dú)家掌握柔性籽晶粘接技術(shù),實(shí)現(xiàn)晶體無損傷剝離,大幅降低生產(chǎn)成本;2023年生長(zhǎng)出6英寸單晶后,迅速實(shí)現(xiàn)厚度突破23mm、關(guān)鍵參數(shù)達(dá)標(biāo),并于2025年成功產(chǎn)出8英寸晶體;其標(biāo)準(zhǔn)化工藝包可穩(wěn)定制備p型厚度≥5mm無宏觀缺陷的碳化硅晶體,產(chǎn)品能力經(jīng)受住了產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證。

南昌大學(xué)國(guó)際材料創(chuàng)新研究院是依托南昌大學(xué)“雙一流”學(xué)科實(shí)力與國(guó)家硅基LED工程技術(shù)研究中心等國(guó)家級(jí)平臺(tái),在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域有著深厚積淀。研究院吳建教授長(zhǎng)期深耕半導(dǎo)體材料的理論計(jì)算、制備與工程應(yīng)用,主持多項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題,學(xué)術(shù)成果豐碩。未來,研究院將與臻晶半導(dǎo)體圍繞 “8英寸厚SiC單晶的低成本制備” 開展核心技術(shù)攻關(guān)。
臻晶半導(dǎo)體陸敏博士表示:“我們非常欣賞南昌大學(xué)在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的原始創(chuàng)新能力。液相法技術(shù)的成熟需要產(chǎn)業(yè)鏈共同努力。我們希望通過此次合作,將臻晶在工程化中積累的經(jīng)驗(yàn),與南昌大學(xué)的前沿智慧相結(jié)合,共同解決產(chǎn)業(yè)化道路上的實(shí)際挑戰(zhàn)。”
南昌大學(xué)吳建教授表示:“液相法是大尺寸、高質(zhì)量碳化硅襯底極具潛力的生長(zhǎng)路線。臻晶團(tuán)隊(duì)在產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)中展現(xiàn)出的速度和執(zhí)行力令人贊嘆。我們期待通過共建研發(fā)平臺(tái),快速實(shí)現(xiàn)從技術(shù)探索到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的突破,產(chǎn)出具有市場(chǎng)前景的成果。”
小結(jié):臻晶半導(dǎo)體與南昌大學(xué)合作旨在通過液相法技術(shù)的突破,與主流PVT法形成技術(shù)互補(bǔ),為我國(guó)新能源汽車、智能電網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心和AR智能終端等戰(zhàn)略領(lǐng)域提供更優(yōu)性能與更具成本競(jìng)爭(zhēng)力的襯底選擇,增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控與安全韌性。同時(shí),本次合作構(gòu)建了“產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)+科研智慧”的高效融合范式。臻晶提供經(jīng)產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證的設(shè)備與工藝,南昌大學(xué)依托其前沿科研能力開展針對(duì)性攻關(guān),共同推動(dòng)技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室走向規(guī)?;瘧?yīng)用,并為行業(yè)培養(yǎng)具備理論與實(shí)踐能力的高端人才。
