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晶盛機(jī)電:成功生長(zhǎng)出 6 英寸碳化硅晶體

日期:2021-07-05 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:298
核心提示:晶盛機(jī)電(300316.SZ)7 月 5 日在投資者互動(dòng)平臺(tái)回答提問(wèn)時(shí)表示,公司近年布局的第三代半導(dǎo)體材料碳化硅的研發(fā)取得關(guān)鍵進(jìn)展,成
晶盛機(jī)電(300316.SZ)7 月 5 日在投資者互動(dòng)平臺(tái)回答提問(wèn)時(shí)表示,公司近年布局的第三代半導(dǎo)體材料碳化硅的研發(fā)取得關(guān)鍵進(jìn)展,成功生長(zhǎng)出 6 英寸碳化硅晶體,碳化硅外延設(shè)備已通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證。同時(shí)在碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光環(huán)節(jié)規(guī)劃建立測(cè)試線(xiàn),以實(shí)現(xiàn)裝備和工藝技術(shù)的領(lǐng)先,目前測(cè)試線(xiàn)進(jìn)展順利,設(shè)備分批進(jìn)廠(chǎng)安裝調(diào)試中。
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