該項目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術開發(fā)，通過建立標準化的生產(chǎn)及控制流程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實現(xiàn)193nm 濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn);同時，逐步建立先進的集成電路及配套材料開發(fā)與應用評價平臺。