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鄭州大學(xué)劉玉懷:六方氮化硼薄膜在不同襯底上的生長研究綜述

日期:2021-12-10 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:345
核心提示:近日,第七屆國際第三代半導(dǎo)體論壇暨第十八屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(IFWSSSLCHINA 2021)在深圳會展中心舉行。本屆論壇由第三
 近日,第七屆國際第三代半導(dǎo)體論壇暨第十八屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳會展中心舉行。本屆論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)聯(lián)合主辦,北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)共同承辦。 
劉玉懷
期間,“超寬禁帶半導(dǎo)體材料“論壇上,鄭州大學(xué)電子材料與系統(tǒng)國際聯(lián)合研究中心主任、教授劉玉懷做了題為“六方氮化硼薄膜在不同襯底上的生長研究綜述”的主題報(bào)告。六方相氮化硼薄膜(hBN)可望應(yīng)用于深紫外發(fā)光器件、中子探測器件以及電子器件的襯底層、介質(zhì)層或絕緣層,近年來hBN研究成果吸引了大量關(guān)注。報(bào)告展示hBN在不同襯底上的生長比較,包括藍(lán)寶石襯底、氮化鋁/藍(lán)寶石模板、氮化鋁襯底以及金剛石襯底等。分享了在藍(lán)寶石、AlN/藍(lán)寶石模板和金剛石襯底上生長的BN,觀察到在不同基板上生長的所有BN薄膜的皺紋圖案,可以看到生長的BN膜具有六重對稱性,表明形成了六邊形BN,B(~190 eV)和N(~401 eV)的K邊上的π*和σ*能量損失等最新研究成果。





 
劉玉懷,主要研究方向?yàn)榈锇雽?dǎo)體材料與器件,主持國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃政府間國際科技創(chuàng)新合作重點(diǎn)專項(xiàng)(基于氮化物半導(dǎo)體的深紫外激光器的研究)、國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、河南省科技攻關(guān)項(xiàng)目等13項(xiàng)。發(fā)表論文與會議報(bào)告215篇,國際會議邀請報(bào)告12次。日本專利公開1項(xiàng)、授權(quán)中國發(fā)明專利1項(xiàng)、實(shí)用新型項(xiàng)專利1項(xiàng)、軟件著作權(quán)5項(xiàng)。紫外LED技術(shù)轉(zhuǎn)移1項(xiàng)。目前主持第三批“智匯鄭州1125創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍團(tuán)隊(duì)”三色LED集成芯片項(xiàng)目,參與寧波市2025重大科技專項(xiàng)“深紫外LED產(chǎn)業(yè)化”。

 

(內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場資料整理,如有出入敬請諒解)

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