自2月14日宣布獲得29臺Ultra C wb槽式濕法清洗設備采購訂單后，近日，盛美半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“盛美上海”）再次宣布，接到得了來自中國集成電路制造廠及先進封裝廠的21臺電鍍設備的批量采購訂單。
據披露，盛美上海此次收獲的采購訂單包括13臺Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備及8臺Ultra ECP ap后道先進封裝電鍍設備，其中10臺設備訂單為一家中國頂級集成電路制造廠商的追加訂單。據悉，這份訂單也是該公司ECP map電鍍系統(tǒng)的第一筆批量采購訂單。
盛美上海表示，經客戶認證，應用于65nm~28nm工藝的Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備性能已滿足甚至超過其要求，因此客戶為其生產線訂購了大量該設備。資料顯示，盛美上海主要從事對先進集成電路制造與先進晶圓級封裝制造行業(yè)至關重要的單片晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備和熱處理設備的研發(fā)、生產和銷售。
