據(jù)無錫博報公眾號消息，日前，國產(chǎn)首臺28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設(shè)備在無錫高新區(qū)成功出機(jī)。 

據(jù)悉，無錫亙芯悅科技有限公司專注于研發(fā)、制造具有完全獨立知識產(chǎn)權(quán)的28nm以下先進(jìn)制程的超高精度電子束晶圓量檢測設(shè)備，此次出機(jī)的中國首臺28nmCD-SEM設(shè)備在電子光學(xué)系統(tǒng)、運動平臺、電子電路和軟件等方向?qū)崿F(xiàn)了完全自研，將正式在某國內(nèi)產(chǎn)線驗證和使用。 

電子束晶圓量檢測設(shè)備是我國僅次于光刻機(jī)的關(guān)鍵短板，28納米關(guān)鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設(shè)備的全自研、國產(chǎn)化突破，是有效解決中國半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域“卡脖子”難題、邁向高端裝備自主可控的里程碑式跨越。 

活動現(xiàn)場，亙芯悅科技、上海交通大學(xué)自動化與感知學(xué)院合作共建的電子光學(xué)AI平臺聯(lián)合實驗室同步揭牌。雙方將在技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用、科技人才培養(yǎng)等領(lǐng)域展開全面合作，貫通“理論突破-工藝驗證-產(chǎn)線落地”的創(chuàng)新鏈條，為后續(xù)的設(shè)備創(chuàng)新注入新動能。 

企業(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，未來將加大技術(shù)攻關(guān)，在更先進(jìn)制程的量檢測設(shè)備國產(chǎn)化上實現(xiàn)更大突破，同時帶動無錫相關(guān)零部件供應(yīng)商的發(fā)展，促進(jìn)供應(yīng)鏈的本地化，提升無錫集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。