6月16日，萬業(yè)企業(yè)宣布，旗下凱世通已于6月13日成功向首個(gè)通過投標(biāo)贏得采購訂單的傳感器行業(yè)新客戶交付了首臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)。

資料顯示，凱世通是一家專注于研發(fā)制造集成電路高端離子注入設(shè)備的高科技公司，主要提供系列化的離子注入解決方案。離子注入機(jī)是芯片制造三大關(guān)鍵裝備之一，開發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，被業(yè)內(nèi)人士稱為“廠長殺手”，其中低能大束流離子注入機(jī)的市場規(guī)模最大、產(chǎn)業(yè)化難度極高。

目前凱世通已實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)低能大束流離子注入機(jī)從樣機(jī)研發(fā)、產(chǎn)線驗(yàn)證再到規(guī)模量產(chǎn)的跨越式發(fā)展，產(chǎn)品在10余家國內(nèi)主流12英寸集成電路產(chǎn)線安全量產(chǎn)，覆蓋先進(jìn)邏輯、先進(jìn)存儲(chǔ)、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領(lǐng)域。

今年5月，凱世通宣布，國產(chǎn)低能大束流離子注入機(jī)12英寸晶圓產(chǎn)品片過貨量突破500萬片。隨后（6月5日），凱世通再次獲得一家12英寸主流晶圓廠客戶的低能大束流離子注入機(jī)復(fù)購訂單。