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華羿微電“新型功率MOSFET器件及其制備方法”專利獲授權(quán)

日期:2024-08-07 閱讀:262
核心提示:天眼查顯示,華羿微電子股份有限公司近日取得一項名為新型功率MOSFET器件及其制備方法的專利,授權(quán)公告號為CN109524472B,授權(quán)公

天眼查顯示,華羿微電子股份有限公司近日取得一項名為“新型功率MOSFET器件及其制備方法”的專利,授權(quán)公告號為CN109524472B,授權(quán)公告日為2024年7月19日,申請日為2018年12月29日。 

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體功率器件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及到一種新型功率MOSFET器件及其制備方法,器件包括漏極金屬區(qū)層、N+單晶硅襯底、N外延層、P型阱區(qū)層、N+源極區(qū)、絕緣介質(zhì)層、源級金屬區(qū)層,還包括溝槽;第一柵氧化層和第二柵氧化層;第一多晶硅層和第二多晶硅層及接觸孔。本發(fā)明還提供了該器件的制備方法,本發(fā)明使得器件擁有較低Qgd的同時,也擁有較低的導(dǎo)通電阻,且制備方法無需增加新的成本,提高了市場競爭力,且具有推廣價值。

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