12月5日，九峰山實驗室與上海先普科技、上海振太儀表、合肥欣奕華、湖南德智新材、海普瑞（常州）五家設備及零部件企業(yè)集中簽約，合作金額超500萬元。此次合作標志著九峰山實驗室國產(chǎn)化驗證工作，已從設備和材料延伸至更為基礎的關鍵零部件環(huán)節(jié)。

九峰山實驗室致力于推動國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的協(xié)同發(fā)展與能力提升。相較于整機，核心零部件的驗證是保障半導體設備長期穩(wěn)定與工藝一致性的更深層基礎，是當前產(chǎn)業(yè)鏈自主化進程中更具挑戰(zhàn)的一環(huán)。該環(huán)節(jié)需要依托現(xiàn)有工藝設備進行分配與集成測試，對方案設計及系統(tǒng)協(xié)同能力要求極高，也是邁向自主可控必須突破的環(huán)節(jié)。九峰山實驗室已于2025年年中啟動該項工作，并計劃在2026年設立專項，投入資源進行系統(tǒng)性攻關。

當前，半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展所需已超越單一設備或材料，更注重以可靠性和生態(tài)完整性為核心的系統(tǒng)能力建設。此次合作也表明國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)自主化進程，正朝著更上游、更精細的產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)深入，對構建完整、健康、有韌性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)提出了更為具體的要求。九峰山實驗室將承擔產(chǎn)業(yè)鏈關鍵環(huán)節(jié)的驗證與協(xié)同重任，持續(xù)推動生態(tài)體系的完善與提升。

簽約企業(yè)介紹

上海先普科技股份有限公司

專注半導體行業(yè)的氣體純化器和氣體過濾器，其二元氣體濃度儀已經(jīng)應用于多家、多臺國產(chǎn)二代半導體MOCVD設備中。

上海振太儀表有限公司

國內(nèi)少數(shù)具備核心技術與自主知識產(chǎn)權，擁有完整生產(chǎn)線、能夠獨立研制、生產(chǎn)電容薄膜式真空測量儀表的廠商。

湖南德智新材料股份有限公司

作為國家級高新技術企業(yè)，專注于半導體用碳化硅涂層石墨耗材、TaC涂層產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)，已實現(xiàn)外延組件、長晶TaC組件，Solid SiC蝕刻環(huán)、晶舟等系列核心產(chǎn)品的批量交付。

海普瑞(常州)潔凈系統(tǒng)科技有限公司

集PVDF、PVDF-UHP、PFA-UHP等材質的管材、管件、閥門研發(fā)和制造于一體的超純管路系統(tǒng)專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)，同時也是測量與控制儀表的專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。

合肥欣奕華智能機器股份有限公司

深耕泛半導體高端裝備領域的企業(yè)，形成真空鍍膜、潔凈移載和高速高精密三大產(chǎn)品和技術平臺。