近日，江西省專利獎評選結果正式揭曉，中微公司憑借發(fā)明專利 “化學氣相沉積反應器或外延層生長反應器及其支撐裝置”（發(fā)明人：尹志堯、姜勇）榮膺殊榮。該專利精準攻克了金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）設備的核心技術難題，并通過創(chuàng)新成果向成熟產(chǎn)業(yè)應用的高效轉化，為公司實現(xiàn)高質量發(fā)展注入強勁動力。

中微公司MOCVD設備

江西省專利獎是經(jīng)中央功勛辦批復同意保留的評比表彰項目，由省政府主辦，省市場監(jiān)管局承辦，每3年評選一次，設置江西省專利獎15項、江西省專利轉化運用獎15項，重點獎勵優(yōu)秀發(fā)明專利項目。

中微公司此次獲獎的 “化學氣相沉積反應器或外延層生長反應器及其支撐裝置”專利應用于金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）設備。MOCVD設備作為生產(chǎn)LED芯片、功率器件及射頻器件等半導體器件的核心裝備，其中基片承載架的驅動與支撐穩(wěn)定性更是制約行業(yè)發(fā)展的關鍵。傳統(tǒng)摩擦驅動模式易出現(xiàn)打滑現(xiàn)象，且高溫環(huán)境下的熱膨脹易導致設備損傷，嚴重影響工藝精度與生產(chǎn)效率。中微公司此次獲獎專利創(chuàng)新性提出 “插接部精準驅動 + 支撐面平穩(wěn)承載” 的雙重架構，從根本上破解了這一難題。通過插接部與凹進部的推動力傳遞替代摩擦力驅動，解決了旋轉打滑問題；大面積支撐面設計有效抑制基片承載架工藝搖擺，而預留的間隙結構可自適應高溫熱變形，確保設備長期運行的結構可靠性與工藝穩(wěn)定性。

依托該專利技術，中微公司構建了覆蓋多應用場景的 MOCVD 設備矩陣，涵蓋 LED 外延片量產(chǎn)設備 PRISMO D-BLUE®、深紫外 LED 設備 PRISMO HiT3®、功率器件外延設備 PRISMO PD5® 及 Mini LED 生產(chǎn)設備 PRISMO UniMax® 等核心產(chǎn)品。其中最新一代 PRISMO UniMax® 設備憑借優(yōu)異的波長均勻性與產(chǎn)能優(yōu)勢，在Mini LED背光顯示與直顯外延片領域的市占率突破90%，成為全球領先企業(yè)的首選裝備。

與此同時，中微公司還斬獲另一榮譽獎項。近日，在由國家知識產(chǎn)權局、江西省知識產(chǎn)權局與九江市政府聯(lián)合主辦的第二屆 “長高賽”（長江經(jīng)濟帶高價值專利轉化運用大賽）中，中微公司依托核心專利 “氣體噴淋頭、其制造方法及薄膜生長反應器”，憑借 IP 團隊與 MOCVD 團隊的精心準備和緊密答辯協(xié)作，歷經(jīng)三輪比拼，從沿江 11 ?。ㄖ陛犑校?410 個參賽項目中脫穎而出，以第一名的成績斬獲金獎，并且位列金獎排名第一。

中微公司于2017年落戶南昌高新區(qū)，成立全資子公司南昌中微半導體設備有限公司（以下簡稱“南昌中微”），并于2018年9月順利實現(xiàn)量產(chǎn)。2023年7月，總建筑面積約14萬平方米的南昌研發(fā)與生產(chǎn)基地正式建成并投入使用。南昌中微作為技術轉化核心基地，先后斬獲“國家高新技術企業(yè)”、“江西省制造業(yè)單項冠軍企業(yè)”、“國家專精特新小巨人企業(yè)”、“江西省半導體專用設備工程研究中心”等榮譽稱號。

中微公司南昌研發(fā)與生產(chǎn)基地

此外，MOCVD 設備作為 LED 照明、氮化鎵功率器件等節(jié)能產(chǎn)品制造的關鍵裝備，中微公司通過專利技術的規(guī)模化應用，助力下游產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)節(jié)能降耗。據(jù)測算，其設備所生產(chǎn)的 LED 產(chǎn)品相較傳統(tǒng)照明可節(jié)電 70% 以上，為全球綠色低碳發(fā)展貢獻力量。

攀登勇者，志在巔峰。中微公司將瞄準“打造世界級裝備企業(yè)”的戰(zhàn)略目標，不斷加大研發(fā)力度，持續(xù)夯實公司在高端微觀加工設備領域的核心競爭力，秉承“五個十大”的企業(yè)文化，即“產(chǎn)品開發(fā)十大原則”、“戰(zhàn)略銷售十大準則”、“營運管理十大章法”、“精神文化十大作風”和“領導能力十大要點”，堅持三維立體發(fā)展戰(zhàn)略，堅持有機生長和外延擴展的策略，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的高質量發(fā)展，力爭盡早成為高端設備平臺化公司，在規(guī)模上和競爭力上成為國際一流的半導體設備公司！